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第453章 中试（第2页）

吕辰直起腰：“我没看出来有什么问题，咱们去中试线……”

诸葛彪拦住：“先别急，再对一遍逻辑。”

又等了三个多小时，才对完。

“初步行了。”诸葛彪放下放大镜，“准备流片。”

吕辰三人带着底片，来到右翼后面的中试线车间，门口已经挂上了“集成电路中试线”的牌子。

在洁净区，换了洁净服、戴上口罩帽子。

进入实验区，看着中试线简陋的场景和设备，吕辰心里有些感慨。

当初，他们在这里打七只老虎，为6305厂的产线建设定下了最终的方案。

如今这里成了集成电路实验室自己的实验线。

但这里才是真正的“摇篮”，所有的新芯片，都是先在这里试制成功，才会把工艺文件交到6305厂去批量生产。

三人找到柳工，他是中试线的负责人，也是光刻环节的大师傅，说话慢条斯理，但手上功夫极稳。

吕辰把底片交给柳工：“柳工，这就是高频脉冲电机的底片。”

柳工接过那四张底片，对着光看了看：“这套版图做得挺规矩的，至少要两个星期，才能出结果。”

吕辰点头：“麻烦柳工了。”

“不麻烦，我去忙了，你们自便。”说完柳工就走了。

三人在车间里转了起来，中试线的光刻机，是GCA-201CGS的原型机，或者说是实验机、验证机，算是国产第一代，接触式光刻，废物再利用，成了这条中试线的核心。

三人特意看了进给系统的摇柄，果断换成了轮式手柄，边缘滚花，握在手里应该很舒服。

手柄连接着一个蜗轮蜗杆减速机构，轻轻转一圈，工作台就移动一个微小的距离。

“这就是陈志国做的？”吕辰和钱兰好奇。

诸葛彪笑道：“对，就是这个。要说，志国这小子是真的眼里有活。咱们所里那么多人，都是搞自动化出来的，但是就没人关注这个细节，他一眼就看出来了，车了这个环形柄，质量上基本做到了完全对称，解决了杠杆原理带来的漂移。”